为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2025年06月至2025年07月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：半自动显影机 标的数量：1 主要功能或目标：用于显影CGH 需满足的要求：1.可容纳并实现直径300mm圆，厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度：0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度：±1rpm | / | 1,350,000.00 | 2025年07月 | 科研仪器设备 |
| 2 | 季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：半自动刻蚀机 标的数量：1 主要功能或目标：用于刻蚀CGH金属层 需满足的要求：1.可容纳并实现直径300mm圆，厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度：0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度：±1rpm | / | 1,500,000.00 | 2025年07月 | 科研仪器设备 |
| 3 | 季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：RIE离子刻蚀机 标的数量：1 主要功能或目标：用于刻蚀CGH石英 需满足的要求：1.反应室容量：可容方形φ400mm，厚度40mm 2.刻蚀速度≥20nm/min； 3.刻蚀均匀性≤±5% 4.侧壁角90°— 85° 5.CDU≤5% 6.占空比50%±5% 7.配套冷水机、尾气处理装置 | / | 4,150,000.00 | 2025年07月 | 科研仪器设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
季华实验室
2025年06月19日
******服务中心办理
******/zcdservice/zcd/guangdong/
******服务中心办理业务
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季华实验室2025年06月至2025年07月政府采购意向
发布机构： 发布时间：2025-06-19 18:08:26
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2025年06月至2025年07月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：半自动显影机 标的数量：1 主要功能或目标：用于显影CGH 需满足的要求：1.可容纳并实现直径300mm圆，厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度：0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度：±1rpm | / | 1,350,000.00 | 2025年07月 | 科研仪器设备 |
| 2 | 季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：半自动刻蚀机 标的数量：1 主要功能或目标：用于刻蚀CGH金属层 需满足的要求：1.可容纳并实现直径300mm圆，厚度可容纳20mm厚的玻璃板的显影 2.CDU≤5% 3.占空比50%±5% 4.转速范围及加速度：0~3000rpm加速度在0.3秒达到3000 rmp 5.显影机加速精度：±1rpm | / | 1,500,000.00 | 2025年07月 | 科研仪器设备 |
| 3 | 季华实验室采购离子刻蚀机等设备项目 | 标的名称：RIE离子刻蚀机 标的数量：1 主要功能或目标：用于刻蚀CGH石英 需满足的要求：1.反应室容量：可容方形φ400mm，厚度40mm 2.刻蚀速度≥20nm/min； 3.刻蚀均匀性≤±5% 4.侧壁角90°— 85° 5.CDU≤5% 6.占空比50%±5% 7.配套冷水机、尾气处理装置 | / | 4,150,000.00 | 2025年07月 | 科研仪器设备 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
季华实验室
2025年06月19日
